Land
Land
SMART Photonics is gevestigd op de High Tech Campus in Eindhoven. Het bedrijf ontwerpt en produceert snelle microchips op basis van lichttechnologie (fotonica). Voor de productie van deze microchips maakt het bedrijf gebruik van geavanceerde apparatuur in een cleanroom-omgeving. Smart Photonics wil de aanwezige apparatuur graag uitbreiden met een nieuwe Scanning Electron Microscope (SEM).
Vanuit de fabrikant zijn echter eisen gesteld aan de ruimte waar de SEM wordt opgesteld.
Deze eisen betreffen:
Peutz is gevraagd in de SEM-ruimte metingen uit te voeren en te beoordelen of aan de gestelde eisen wordt voldaan.
Om vervuiling van de cleanroom te voorkomen moest de apparatuur worden ontsmet en moesten de medewerkers worden voorzien van een cleanroompak. Hierna zijn alle metingen uitgevoerd, waarbij eerst metingen van het achtergrondniveau (geluid, trillingen en EM) zijn uitgevoerd. Daarnaast zijn ook metingen uitgevoerd van het magneetveld op het moment dat de apparatuur in de naastgelegen ruimte in bedrijf was en zijn trillingmetingen uitgevoerd, waarbij werd rondgelopen door de ruimte. Uit het onderzoek volgt dat in alle situaties aan de gestelde eisen kan worden voldaan en dat de SEM dus zonder problemen kan worden geplaatst in deze ruimte
.
